众所周知,半导体生产工艺复杂,光是生产半导体的机器设备上的零部件都有成千上万个,小编今天就带来其中一个零件的生产工艺—NAKANISHI高速主轴对轴的内径打磨。
用于半导体生产机器的轴
材质: SUJ2 (轴承钢)
轴的孔内径:3.306±0.003
打磨工具要求:
高精度:精度要在6μm以内,如果主轴打磨时精度跳动很大,要保证在精度内的精密打磨需要时间。
NAKANISHI高速主轴EMS-3060K刚好适合此类轴的打磨
NAKANISHI高速主轴EMS-3060K在保证表面打磨效果前提下,转速可从50,000 min−1 提高到60,000 min−1。精度1 ㎛内, 能实现精密加工,并可延长刀具使用寿命.