半导体工件高转速高光加工,100000转气浮主轴可满足加工需求
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发布日期: 2024.07.24
有些半导体工件,需要进行高光加工,需要高转速、高精度的加工工具,才能满足表面加工需求,可以使用日本NAKANISHI高速气浮主轴ABT-1000
,其转速高达100000转/min,主轴跳动精度在1um以内,很满足加工需求。
因加工条件的要求高,所以对于体积小、精度高、转速高的高速气浮主轴,也是符合加工需求的,ABT-1000气浮主轴,转速能高达100000转/min,精度是在1um以内,直径40mm,且径向可承受力20N以下,轴向可承受力35N以下,是经常用于半导体加工行业,效果好。
高速的气浮主轴
,配上小直径好刀具,其表面的效果非常不错的,所以很多精密加工都是会找高转速、高精度的高速主轴进行加工,从而满足加工需求。