半导体精密加工，加工要求高，而日本NAKANISHI高速气浮主轴 ABT-1600，其转速高达160000转/min，精度在1um以内，径向可承受高达10N以下，轴向可承受高达20N以下,很符合加工需求，所以是比较常用于半导体研磨高光加工。

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